High performance polysilicon air-gap thin film transistor on low temperature substrates

Conference proceeding

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, Nathalie Coulon, Olivier Bonnaud, Jean-Yves Mevellec and H Kotb

Proceedings of SPIE Smart Sensors, Actuators, and MEMS, Vol.5116, pp.168-175

Proceedings of SPIE Smart Sensors, Actuators, and MEMS

05/2003

Metrics

1 Record Views

Title: High performance polysilicon air-gap thin film transistor on low temperature substrates
Creators - without role: H. Mahfoz-Kotb
Anne-Claire Salaün - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Tayeb Mohammed-Brahim - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Nathalie Coulon - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Olivier Bonnaud - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Jean-Yves Mevellec
H Kotb - King Faisal University
Publication Details: Proceedings of SPIE Smart Sensors, Actuators, and MEMS, Vol.5116, pp.168-175
Conference: Proceedings of SPIE Smart Sensors, Actuators, and MEMS
Identifiers: 9919878208331
Academic Unit: King Faisal University
Language: English
Resource Type: Conference proceeding