Ein Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie

Journal article

Peer reviewed

G. Brenner, M. Mukinovic, E. Mesic, R. Schmid, M. Tafipolsky, J. Khanderi and R. A. Fischer

Chemie ingenieur technik, Vol.78(6), pp.679-688

06/2006

Abstract

Gasphasenreaktionen

Halbleiter

Prekursoren

Simulation

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Title: Ein Mehrskalenansatz zur numerischen Simulation und Analyse der metallorganischen Gasphasenepitaxie
Creators - without role: G. Brenner - Technische Universität Clausthal, Institut für Technische Mechanik, Adolph-Roemer-Straße 2A, D-38678 Clausthal-Zellerfeld, Germany
M. Mukinovic - Technische Universität Clausthal, Institut für Technische Mechanik, Adolph-Roemer-Straße 2A, D-38678 Clausthal-Zellerfeld, Germany
E. Mesic - Technische Universität Clausthal, Institut für Technische Mechanik, Adolph-Roemer-Straße 2A, D-38678 Clausthal-Zellerfeld, Germany
R. Schmid - Ruhr Universität Bochum, Insitut für Anorganische Chemie, Universitätsstraße 150, D-44801 Bochum, Germany
M. Tafipolsky - Ruhr Universität Bochum, Insitut für Anorganische Chemie, Universitätsstraße 150, D-44801 Bochum, Germany
J. Khanderi - Ruhr Universität Bochum, Insitut für Anorganische Chemie, Universitätsstraße 150, D-44801 Bochum, Germany
R. A. Fischer - Ruhr Universität Bochum, Insitut für Anorganische Chemie, Universitätsstraße 150, D-44801 Bochum, Germany
Publication Details: Chemie ingenieur technik, Vol.78(6), pp.679-688
Publisher: WILEY-VCH Verlag
Number of pages: 10
Identifiers: 9943409508331
Academic Unit: King Abdullah University of Science & Technology
Language: German
Resource Type: Journal article