Polycrystalline silicon thin films for MEMS applications

Journal article

Peer reviewed

H. Mahfoz-Kotb, Anne-Claire Salaün, Tayeb Mohammed-Brahim, France Le Bihan, Mimoun El Marssi and H Kotb

Thin solid films, (427), pp.422-426

03/2003

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Title: Polycrystalline silicon thin films for MEMS applications
Creators - without role: H. Mahfoz-Kotb
Anne-Claire Salaün - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Tayeb Mohammed-Brahim - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
France Le Bihan - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
Mimoun El Marssi
H Kotb - King Faisal University
Publication Details: Thin solid films, (427), pp.422-426
Publisher: Elsevier
Identifiers: 9919472208331
Academic Unit: King Faisal University
Language: English
Resource Type: Journal article